សារធាតុគីមីសម្រាប់ដំណើរការ Semiconductor

cc09bd33a0ddd2aaadac4a8a4d3008a1ការផលិតសារធាតុ semiconductor ភាគច្រើនជាដំណើរការដែលទាក់ទងនឹងគីមី ដោយមានរហូតដល់ 20% នៃជំហានដំណើរការគឺការសម្អាត និងការរៀបចំផ្ទៃ wafer៖

យើងទម្លាប់ក្នុងការសំដៅទៅលើសម្ភារៈគីមីដែលប្រើក្នុងការផលិត wafer ជាសារធាតុគីមីដំណើរការ ដែលមានក្នុងទម្រង់គីមីផ្សេងៗគ្នា (រាវ និងឧស្ម័ន) ហើយត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងក្នុងភាពបរិសុទ្ធ។មុខងារសំខាន់នៃសារធាតុគីមីដំណើរការទាំងនេះមានដូចខាងក្រោម៖

លាងសម្អាតផ្ទៃ wafer ជាមួយនឹងដំណោះស្រាយគីមីសើមនិងទឹកសុទ្ធ;

Doping wafers ស៊ីលីកូនជាមួយអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់ដើម្បីទទួលបានសមា្ភារៈស៊ីលីកូនប្រភេទ P ឬ N;

ការដាក់ស្រទាប់ចំហាយលោហៈផ្សេងគ្នា និងស្រទាប់ dielectric ចាំបាច់រវាងស្រទាប់ conductor;

បង្កើតស្រទាប់ SiO2 ស្តើងជាសម្ភារៈច្រកទ្វារសំខាន់នៃឧបករណ៍ MOS;

ប្រើការពង្រឹងប្លាស្មា ឬសារធាតុសើម ដើម្បីជ្រើសរើសសម្ភារៈ និងបង្កើតលំនាំដែលចង់បាននៅលើខ្សែភាពយន្ត។

សារធាតុរាវដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ជាបីថ្នាក់៖ UP-S, UP, និង EL យោងទៅតាមភាពបរិសុទ្ធរបស់វា ហើយ EL ត្រូវបានបែងចែកបន្ថែមទៀតទៅជា:

អេឡិចត្រូនិចថ្នាក់ទី 1 (EL-Ⅰ)
មានមាតិកាមិនបរិសុទ្ធនៃលោហៈពី 100-1000 PPb ដែលស្មើនឹងស្តង់ដារ SEMI C1 C2 ។

អេឡិចត្រូនិចថ្នាក់ទី 2 (EL-Ⅱ)
មាតិកាមិនបរិសុទ្ធនៃលោហៈរបស់វាគឺ 10-100 PPb ដែលស្មើនឹងស្តង់ដារ SEMI C7 ។

អេឡិចត្រូនិចថ្នាក់ទី 3 (EL-Ⅲ)
មានមាតិកាមិនបរិសុទ្ធនៃលោហៈ 1-10 PPb ដែលស្មើនឹងស្តង់ដារ SEMI C7 ។

អេឡិចត្រូនិកថ្នាក់ទី 4 (EL-IV)
មានមាតិកាមិនបរិសុទ្ធនៃលោហៈ 0.1-1PPb ដែលស្មើនឹងស្តង់ដារ SEMI C8 ។

សារធាតុប្រឆាំងភាពស្អាតខ្លាំង និងមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានគេស្គាល់ជាអន្តរជាតិថាជាសារធាតុគីមីដំណើរការ ត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាសារធាតុគីមីសើម និងជាវត្ថុធាតុដើមគីមីសំខាន់មួយក្នុងដំណើរការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា (IC) និងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាខ្នាតធំ (VLSI) .វា​ក៏​ត្រូវ​បាន​គេ​ប្រើ​សម្រាប់​ការ​សម្អាត និង​កាត់​ផ្ទៃ​ស៊ីលីកុន wafer ផងដែរ។ភាពបរិសុទ្ធ និងភាពស្អាតស្អំនៃសារធាតុប្រឆាំងភាពស្អាត និង ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ មានផលប៉ះពាល់យ៉ាងសំខាន់ទៅលើទិន្នផល លក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី និងភាពជឿជាក់នៃសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។មានសារធាតុគីមីប្រភេទអេឡិចត្រូនិចជាច្រើនប្រភេទ និងតម្រូវការបច្ចេកទេសខ្ពស់។វាត្រូវបានផ្អែកលើការអភិវឌ្ឍន៍បច្ចេកវិទ្យាមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍នៃបច្ចេកវិទ្យាមីក្រូអេឡិចត្រូនិច វាអភិវឌ្ឍក្នុងពេលដំណាលគ្នា ឬមុនពេលវេលា។ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះវារឹតត្បិតការអភិវឌ្ឍន៍បច្ចេកវិទ្យាមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។


ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ២៣ មិថុនា ២០២២